深圳pcb抄板冷冻扫描电镜CryoSEM系统成功案例
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冷冻扫描电镜CryoSEM系统技术参数：
一.主机包括：
样品预冷冻准备腔室和装置，用于含水样品采集后的预冷冻冻结处理
结构紧凑的制样腔室，带有一体化的样品传输控制
大观察窗口，内置照明
带有电子互锁的两个真空阀门(分别用于装载经过预冷的样品，以及断裂、升华刻蚀、溅射镀膜等处理后将样品传送到SEM腔室中的冷台)，确保全程处于真空状态
液氮杜瓦瓶，用于制样腔室中样品冷台的整体冷却，确保全程处于冷冻状态
制样腔室中设有可变温度传导冷却的样品冷台(-185℃ - +50℃)
大低温防污染盘
带有冷冻断裂刀和冷冻探针，用于样品的冷冻断裂操作，以便进行低温横断面的内部结构观察
高分辨率溅射镀膜仪，带有金/钯合金靶(PP2000T配铂靶)
溅射镀膜所需的高纯氩气瓶，带有压力调整器（仅PP2000T）
碳丝蒸发头和控制电源（可选）
二.配套的SEM组件包括：
1.安装于SEM腔室一个端口的不锈钢液氮杜瓦瓶，带有独立控制的气体冷却管路，分别用于SEM样品冷台和SEM防污染冷阱(冷指）；
2.采用过冷氮气独立冷却的SEM样品台，温度范围：-192℃ - +50℃；
3.采用过冷氮气独立冷却的防污染冷阱(冷指），温度范围：-192℃ - +50℃。
注意SEM组件需要根据具体的SEM型号定制以便配装。
三.配套的抽真空系统
PP2000T
1.涡轮分子泵抽真空系统（75L/秒）独立安装在位于SEM后侧地面的防振座上，连接不锈钢软管，高、低真空规和真空控制器
2.涡轮分子泵需配50L/分的前级旋转机械泵(用于“预抽”涡轮分子泵)
3.与预冷冻准备腔室配套的90L/分的旋转机械泵，用于制备液氮雪泥和过冷液氮。
PP2000
1.旋转机械泵抽真空系统独立安装在位于SEM后侧地面的防振座上，连接真空软管、低真空测量规和真空控制器
2.与预冷冻准备腔室配套的90L/分的旋转机械泵，用于制备液氮雪泥和过冷液氮。
四.其它组件
1.配有灵活的观察灯
2.用于安装控制单元的滚轮式手推车
3.能够保持真空条件的样品传输和往返传动装置、多种不同用途的样品座、安装机构和完整的安装套件包
五.其它可选项
● 能提供干燥氮气的压力杜瓦瓶
● 多种类型样品支架(包括顶部装载铆钉&平板支架)
● 体视显微镜(用于观察制备腔室中的样品)
● 膜厚监控装置
● 大样品支架和特殊传输装置
● 系列靶材和备件包
主要特点：
特点:
1.能保持可溶性物质
2.可弥漫物质很少移位
3.不皱缩不变形，机械损伤小，保持样品真实的自然状态
4.不使用锇酸固定剂等有毒试剂
5.是对样品进行动态实验的唯一方法（在不同的时间点采样后立即冷冻冻结动态过程，在实验室内或野外均可做冻结操作，然后运回实验室使用CryoSEM分析）
6.过程快，如不进行升华刻蚀，从新鲜材料到冷冻、断裂、喷镀样品到出图像可在10分钟内完成
7.高分辨能力（与低真空SEM或环扫技术相比）
8.通过低温断裂获取额外信息（与常规和低真空SEM方法比较）
9.很适合液体、半液体、和电子束敏感样品
10.具有选择性刻蚀能力（通过升华显露内在信息）
11.具有重复使用样品能力（例如：对样品重复断裂和镀膜）
优点：
● 快速样品制备-典型少于10分钟
● 独立控制的气冷SEM冷台和SEM冷阱(冷指)-确保了产生高分辨率图像所需的温差（50度）
● 精确控制冷却气体-最优的热稳定性
● 易使用-使操作者快速熟悉CRY-SEM整个过程
● 冷溅射头-颗粒精细、高分辨率镀膜(喷金和铂等)
● 独特设计的高热稳定性SEM样品台（冷台）-卓越的样品台稳定性
● 高效的SEM冷阱(冷指)-高分辨率图像所必需
● 高级的样品预冷却处理装置选项-易于预冷不同类型的样品
● 高可见性读数，可显示温度和真空-所有重要参数操作者都能容易地看到
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